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      技術交流

      如何選擇真空泵

      選用真空泵時,需要注意的事項

        1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。
        如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

        2、正確地選擇真空泵的工作點。
        每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

        3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

        4、正確地組合真空泵。
        由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

        5、真空設備對油污染的要求。
        若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

        6、了解被抽氣體成分。
        氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

        7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響。
        如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

        8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。
        若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

        9、真空泵的價格、運轉及維修費用。在使用許可的情況之下,應盡量選用價廉物美的真空泵。

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