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技術交流

DE400 E-BEAM EVAPORATOR 電子束蒸發儀如通入反應氣體，則工作氣壓穩定性優于0.25%，觀察不到壓力漂移

DE400?E-BEAM?EVAPORATOR?電子束蒸發儀如通入反應氣體，則工作氣壓穩定性優于0.25%，觀察不到壓力漂移