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      技術交流

      關于真空檢漏

      ?1.概漏的基本概念
      ?????真空檢漏就是檢測真空系統的漏氣部位及其大小的過程。
      ?????漏氣也叫實漏,是氣體通過系統上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側的現象。
      ?????虛漏,是相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發、氣體通過器壁的滲透及系統內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統中氣體壓力升高的現象。
      ?????氣密性是表征真空系統器壁防止氣體滲透的性能,它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。
      ?????最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的最小值。
      ?????最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測出的最小漏率。對于檢漏儀器來講,最佳靈敏度又稱作儀器靈敏度。
      ?????檢漏靈敏度是指在具體條件下,某種檢漏方法所能檢測出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱作有效靈敏度。
      ?????反應時間,即從檢漏方法開始實施(如開始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應的時間。
      ?????消除時間,即從檢漏方法停止(如停止噴吹且開始抽出示漏氣體)到指示方法的指示消失的時間。
      ?????漏率,即單位時間內流過漏孔(包括間隙)的氣體量。
      ?????2.漏孔、漏率及其單位
      ?????真空技術中所指的漏孔,由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣(如圖1所示),無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。
      ?????用漏率表示漏孔大小時,如果不加特殊說明,則是指在漏孔入口壓力為1.01×105Pa,出口壓力低于1.33×103Pa,溫度為296士3K的標準條件下,單位時間內流過漏孔的露點溫度低于248K的空氣的氣體量。
      ?????漏率的單位是帕斯卡×立方米/秒,記為Pam3/s。為了方便,有時用帕斯卡×升/秒,記為PaL/s。
      ?????3.最大容許漏率
      ?????真空系統漏氣是絕對的,不漏氣是相對的在真空檢漏技術中所指的“漏”是和最大容許漏率的概念聯系在一起的。
      ?????對于動態真空系統,只要其平衡壓力能夠達到所要求的真空度,這時即使存在著漏孔,也可以認為該系統的漏率是容許的,該情況下系統的漏率稱為最大容許漏率。動態真空系統的最大容許漏率qLmax應滿足
      ?????qLmax≤1/10PwS????????(1)
      ?????式中Pw----系統工作壓力
      ?????S----系統的有效抽速
      ?????對于靜態真空系統,要求在一定時間內,其壓力維持在容許的壓力以下,這時即使存在著漏孔,同樣叮以認為該系統的漏率是容許的,該情況下系統的漏率稱為最大容許漏率。如果要求在時間t內,容積為V的系統的壓力由p升至pt,則其最大容許漏率qLmax應滿足
      ?????qLmax≤(pt-p)V/t????????(2)
      ?????各種真空設備的最大容許漏率可參考表1確定。
      ?????4.漏孔的氣流特性
      ?????氣體流經漏孔的過程是很復雜的,可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態。主導流動狀態與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環境溫度有關。設環境溫度T=296K,入口壓力p2=1.01×105Pa,出口壓力p1《p2,漏孔長L,直徑d的均勻圓截面導管型漏孔,其對空氣的漏率及可視流動狀態見表2。
      ?????5.檢漏方法的分類
      ?????檢漏方法很多,根據被檢件所處的狀態可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。
      ?????充壓檢漏法:在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質,如果被檢件上有漏孔,示漏物質便從漏孔漏出,用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質,從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充壓檢漏法。
      ?????真空檢漏法:被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態,在被檢件的外部施加示漏物質,如果有漏孔,示漏物質就會通過漏孔進入被檢件和敏感元件的空間,由敏感元件檢測出示漏物質,從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,這就是真空檢漏法。
      ?????其它檢漏法:被檢件既不充壓也不抽真空,或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。
      ?????所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件,然后在真空狀態下使示漏氣體再從被檢件中漏出.以某種方法(或檢漏儀)檢測漏出的示漏氣體,判定被檢件的總漏率的方法。
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