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      技術交流

      真空度測量--真空計

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      真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。下面為您介紹一下熱偶計:

      熱偶真空計

      ???? ?熱偶真空計由敏感元件、熱偶硅管和測量儀器組成。熱偶硅管與被測真空系統相通,外殼為玻璃管,管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時,由于溫差效應,在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定,則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度,而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低,氣體熱導率小,被氣體帶走的熱量少,加熱絲溫度升高,熱偶絲的熱電勢增大;反之,則熱電勢減少?;芈分械臒犭妱萦煤练頊y量,表中的毫伏數即反映出真空度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩定,而介入了穩壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和硅管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

      熱電偶真空計是利用氣體分子的熱傳導現象,因為價格低廉,被廣泛應用到真空領域。

      構造和原理

      熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點是此真空計的原理。

      如果保持細線的發熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。

      特征

      利用氣體分子的熱傳導現象,可能測量的壓力范圍在1-300Pa之間。熱電偶真空計測得西線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。電視電路簡單,價格低廉。

      此外此真空計在大氣壓狀態下頁不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出,因此在自動控制方面容易控制。

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